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ASML独霸EUV光刻机背后,三家企业分栖共存

2019-11-30 02:11:53 澳门银河手机平台 已读

编者按:异国一个国家能自力完善中高端光刻机,更异国一个国家能从设备到生产产品通盘通盘自力搞定!一旦拥相通能掐住业界咽喉的技术,就有逆制的能力,能够立于不败之地。

本文发于半导体走业不益看察,原作者biz-journal。经亿欧编辑,供走业人士参考。

2015年以后,陪同着存储半导体市场的爆发式的添长,不息以来以最大周围著称的曝光设备的TOP1的宝座被干蚀刻(Dry Etching)争夺。

相关曝光设备市场,人们远大认为,荷兰的ASML占领绝对的上风。但是,吾们调查了i线(365nm)、KrF(248nm)、ArF Dry(193nm)、ArF溶液(193nm)、EUV(13.5nm)等相关的曝光设备的2019年的出货金额、各家企业的占比,能够得出“ASML并异国绝对的上风”这一结论。(括号内为光源波长。)

也就是说,倘若图案(Pattern)能够缩短到与光源波长相反,曝光设备的价格也就相对较高。比方说,i线约为4亿日元(约人民币2,400万元),KrF约为14亿日元(约人民币8,400万元),ArF Dry约为20 亿日元(约人民币1.2亿元),ArF溶液约为60亿日元(约人民币3.6亿元),EUV约为200亿日元(约人民币12亿元)。现在发射一个火箭的价格约为100亿日元(约人民币6亿元),最先辈的曝光设备—EUV的价格要比100亿日元高得多!

在本文里,吾们讲分析各家企业的曝光设备和出货金额,然后你会发现 ASML并不是占领绝对上风网上斗地主游戏在线玩,逆而是尼康、佳能、美国的Veeco三家企业分栖共存。然后网上斗地主游戏在线玩,吾们将通太甚析全球各个区域的曝光设备市场网上斗地主游戏在线玩,末了论证出各个国家的半导体市场趋向。末了,吾们也将会望到,到2020年,曝光设备会再次超越干蚀设备,再次荣登市场周围第一的宝座。

围绕曝光设备,各家企业的攻守、分栖共存

图1是关于各栽曝光设备和一切曝光设备的出货金额、各家企业的占比。据展望,2019年的全球曝光设备的出货金额约为9,060亿日元(约人民币543.6亿元)。各家企业的占比如下:ASML(81.2%)、尼康(5.9%)、佳能(11%)、美国Veeco(1.9%),ASML占绝对上风。

图1 :各栽曝光设备的出货金额、各家企业的出货金额比例

能够望出,ASML是2019年全球占比最大的尖端曝光设备——EUV的唯一生产商,而ArF溶液的全球占比94.3%,固然仅次于EUV,但也占绝对上风。也就是说,ASML由于独占了最尖端、市场周围最大的EUV和ArF溶液市场,在整个市场上的占比具有压服性的上风。

而在市场周围较幼的ArF Dry市场,ASML的占比(38.3%)则不如尼康的市场占比(61.7%)。此外,随着NAND闪存半导体的逐渐3D化,KrF和i线将会再次“荣耀登场”,与ArF Dry相通,ASML将不再是TOP 1!

在KrF方面,佳能则以51.1%的占比位居始位,第二名为ASML(46.2%);i线的第别名为佳能(55.2%),第二名为Veeco(23.5%),第三名为尼康(12.8%),第四名为ASML(8.5%),ASML的占比最矮。

从以上效果能够望出,曝光设备厂商为了生存下往而采取的战略。在集体曝光设备市场上拥有领先份额的ASML在i线、KrF、ArF Dry方面却相对落后,这主要由于他们将主要精力和资源偏重荟萃在市场周围较大、最尖端的EUV和ArF溶液方面。由此可见,全球最尖端的微弱添工的重担落在了ASML的双肩上。

另一方面,难以与ASML抗衡的尼康却瞄准了“缝隙市场”—ArF Dry、力求超过ASML的市场占比。此外,佳能不光凝神于KrF和i线,而且在这两个周围中都是TOP1。此外,Veeco生产的i线的价格还不敷佳能价格的一半!

独霸ArF溶液和EUV、担当着最尖端微弱添工命运的ASML的存在实在不走幼觑。但是,要生产最尖端的半导体,i线、ArF Dry等各栽曝光设备也是必须的!尼康、佳能、Veeco固然在ArF和EUV周围中被“削减”了,但是各自都在i线、KrF、ArF Dry等方面确保了本身的“阵地”!也就是说,在曝光设备周围,各家曝光设备厂商“分栖共存”。

分析各个国家和地区的曝光设备市场

图2 是各个地区及国家的曝光设备的市场推移外。从图中能够望出,拥有存储半导体厂商三星电子和SK Hynix两家存储巨头的韩国市场在2016年-2018年获得了重大的成长,但是进入2019年开起矮迷。这主要是由于2016年到2018年存储半导体市场获得了爆发式的成长,但在2019年却骤然迎来了市况萎靡!

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图2:各个国家和地区的曝光设备的出货金额

倘若说韩国的曝光设备市场的动向与存储半导体市场情况相反的话,那么也就是说曝光设备市场受DRAM、NAND等存储半导体的影响较大。再次不益看察上图2,固然不敷韩国市场那么“悠扬”。不过吾们同样望到,拥有存储半导体厂家镁光和英特尔的美国、拥有“Kioxia”(即铠侠株式会社,原东芝存储半导体)的日本在2016年-2018年期间,曝光设备市场添长也相等清晰,2019年的市场也都稍有消极。由此能够得出结论,存储半导体市场情况的益坏与曝光设备市场具有必定相关。

另一方面,拥有全球领先的集成电路专科代工工厂TSMC的中国台湾的曝光设备市场的动向却与韩国分歧,在存储半导体快捷添长的2016年-2018年期间,台湾的曝光设备市场却展现了缩短,在存储半导体展现矮迷的2019年,台湾市场却展现了添长趋势。这主要由以下几方面因为造成的:

最先,2018年以前中国台湾市场缩短的主要因为在于Apple 的iPhone出售矮迷、虚拟货币挖矿市场的“休业”等。由于TSMC这几年的主要营业来源于代工iPhone、挖矿机的处理器。

而在2018年-2019年期间,在别的国家和地区的曝光设备市场都表现了矮迷态势,只有中国台湾市场展现了添长。这是由于TSMC为了添码先辈制程,大量购入了单价约为200亿日元(约人民币12亿元)的最尖端的EUV曝光设备。据报道,在2019年,TSMC采购了18台EUV,三星电子采购了8台EUV,英特尔采购了4台EUV。

但是,要“谙练”行使EUV设备,是极其难得的,并且必要大量的演习。据说,TSMC于2018年每月在EUV上消耗了3万-4万个硅晶圆,末了都报废了。异日最尖端的曝光设备有能够是EUV, 不过现在最严害的当属TSMC一家。

走动“疑心”的中国曝光设备市场

中国的曝光设备市场与吾们刚刚望过的韩国、中国台湾市场大有分歧。

在2012年-2018年期间,中国的曝光设备市场呈直线上升。这是由于中国挑出了智能制造计划、且中国要挑高半导体自给率(现在仅有15%)的原由。在此期间,中国开起大批量建设存储工厂 和晶圆代工工厂。倘若要建设半导体工厂,必要导入相等数目的曝光设备等生产半导体必要的设备。

鉴于以上因为,中国大陆的曝光设备市场在2018年几乎赶上了台湾。但是,业界远大认为中国引进的曝光设备远大处于“睡眠状态”。之于是这么说是由于中国大陆的半导体出货金额远远不敷台湾,因此半导体自给率也异国得以升迁。

此外,在2019年中国的曝光设备市场展现了缩短。这是由于中美之间多所周知的因为。 以上是吾们分析的曝光设备的市场情况。通太甚析曝光设备市场情况,吾们能够大致读取各个国家和地区的半导体市场的动向。

曝光设备将再次荣登市场TOP1的“宝座”

吾们展望2019年单价达到200亿日元(约人民币12亿元)的最先辈的EUV曝光设备的出货金额将会超过ArF溶液的出货金额。EUV设备的出货金额和出货数目如图3所示,展望今后也会展现较高的添长。推动EUV市场安详添长的主要是台湾的TSMC,其次是韩国的三星和美国的英特尔。

TSMC曾公布说,2019年的投资额由最初的100亿美元(约人民币700亿元)增补至150亿美元(约人民币1,050亿元)。据说,TSMC也基本已经确定增补2020年的投资!不管怎么说,一台EUV设备的价格就要200亿日元(约人民币12亿元)呢!倘若TSMC不息大量购买云云腾贵的EUV设备,曝光设备的市场周围答该会在2020年超过Dry Etching(干蚀刻)设备市场,再次获得TOP1的宝座!

编辑:李腾

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